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  • freebird924

    第11楼2011/03/03

    请问你说是更换液氩的缘故，那是什么地方出现问题了呢，我今天也是换了一瓶液氩，然后点火点燃后几秒钟就熄火了，提示：The plasma power output is not equal to the requested value。我用的是瓦里安的仪器，反复点火很多次了都不行

    lihualing1980(lihualing1980) 发表:谢谢您的分析，故障检查了，是更换液氩的缘故。
    现在Element2 又出新问题，正常点火程序运行，打开interface pump 后，预点火也成功，RF功率升至1900，当打开skimmer valve时，F5跳闸，高真空消失。感觉是机械泵的问题。重新抽真空后，在Diagnotical中，Estate中空转Interface pump几分钟后，再点火，仪器则能点火成功。不知是为什么，问题严重吗？

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  • 光哥

    第12楼2011/03/04

    应助工程师

    建议消耗点液氩，把整个气体管路都吹扫一下。

    freebird924(freebird924) 发表:请问你说是更换液氩的缘故，那是什么地方出现问题了呢，我今天也是换了一瓶液氩，然后点火点燃后几秒钟就熄火了，提示：The plasma power output is not equal to the requested value。我用的是瓦里安的仪器，反复点火很多次了都不行

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