yoyo
第113楼2011/03/15
sunny你好,多谢您这么热心的开帖回答大家的问题。因为这里有很多新手,我也是其中之一,您的几句话对我们来说就是很大的帮助,希望您能一直坚持下去。我现在操作的是JSM7500F,问题是这样的,前段时间做铁样品时,没粘牢,铁块掉在样品室里了,将样品室整个放气后,打开法阑取出铁块,之后仪器好象也没啥问题,最近在SEI LM时会发现图片上有很密的横纹(工作距离8mm)(不是所有样品都有),在高倍时则没有。昨天用LEI探头时发现这种现象在LM和高倍时都存在(不是放电引起的),WD增大时横纹变弱。今天又把法阑打开把LEI探头吹了吹,发现没有作用。请教下这是咋回事?多谢。另:您同事说可能是LEI探头受污染了,我不明白的是上次掉的是铁块,又不是粉末,怎么会受污染呐?
mmctem
第120楼2011/03/17
刚刚接手6330SEM的管理,请问能不能给介绍一下对中的详细过程,从电子枪开始?别人说的是把电流提高,然后调x-y使亮度最大,物镜光栏对中是调X-y使中心晃动最小,但是挑了半天好像没有什么变化?聚焦时图像还是偏移很远,明显对中不行,能否给详细解释一下,或者发给个相关材料也行:wane.li@yahoo.com, 多谢!!
补充一下,在做gun alignment时,按照操作规程,应该是提高probe current 到14,然后调节至最亮,而且从7升到14的过程中,图像应该是逐渐变亮的,但是我现在看到的正好相反,probe current 7-14图像变暗,而且在14进行对中时,图像亮暗变化不明显。所以不容易找中心。最终图像质量也肯定不会太好了。
多谢指教!
sunnysky
第122楼2011/03/18
6330?N年前的东西是6700的前身,机器还是很好的,不过我只见过几回,还没机会修过,经验恐怕还不如您。做gun alignment时,probe current在14不好调时,可在13或12、11调,调好后再在14下调,如果还调不好,7~14是变暗的,则需要重新机械合轴,请联系当地工程师。您在东莞吗?