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  • gigijeff

    第193楼2011/08/18

    刚新买日本电子的SEM，今后有问题向高手请教

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  • sunnysky

    第194楼2011/08/18

    E－1045不是日本电子的产品，不过从你说的现象看，问题应出在靶材安装上，仔细检查一下。

    jianjian-s(shasha) 发表:您好！我们的离子溅射仪E-1045在更换Pt靶材以后就镀不上pt了，在VAC.ADJ到discharge这一步过不去，提示错误E22，No discharge current has flown after start of discharge. 我们根据说明书检查了pressure在6.1左右，也对chamber内进行了清洁，但是还是不行，请不吝指教！谢谢！！

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  • wszlm

    第195楼2011/08/18

    楼主，求解释啊！

    wszlm(wszlm) 发表:专家，您好。我们使用的是6380LV，现在有个问题，在使用20KV电压时，设备工作正常，改成25Kv或30KV时显示灯丝异常，要求更换灯丝，换回20KV电压后又工作正常，请问是怎么回事？

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  • sunnysky

    第196楼2011/08/19

    专家，您好。我们使用的是6380LV，现在有个问题，在使用20KV电压时，设备工作正常，改成25Kv或30KV时显示灯丝异常，要求更换灯丝，换回20KV电压后又工作正常，请问是怎么回事？[/quote]

    如果灯丝安装没问题的话，恐怕灯丝回路、高压系统出现问题了，需要到现场检查一下

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  • jianjian-s

    第197楼2011/08/19

    谢谢！

    sunnysky(sunnysky) 发表:E－1045不是日本电子的产品，不过从你说的现象看，问题应出在靶材安装上，仔细检查一下。

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  • sunnysky

    第198楼2011/08/22

    楼主，您好！！！真没想到您会给我回复，谢谢您！！！我的邮箱是fan_li@uled.cn吧，麻烦您了！！！[/quote]

    邮箱太小了，发不过去呀，附件有10M多。

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  • anakin0819

    第199楼2011/08/23

    楼主：
    你好！
    有一台设备出现以下故障请楼主帮助分析一下。谢谢！
    型号：JSM-6390LA
    故障现象：液氮冷却时，温度下降不了，导致能谱不能使用。
    生产时间：08年3月份

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  • sunnysky

    第200楼2011/08/23

    首先检查一下电镜的真空是否正常，因为能谱的真空是靠电镜来抽的，然后检查一下测温度的传感器是否正常。

    anakin0819(anakin0819) 发表:楼主：
    你好！
    有一台设备出现以下故障请楼主帮助分析一下。谢谢！
    型号：JSM-6390LA
    故障现象：液氮冷却时，温度下降不了，导致能谱不能使用。
    生产时间：08年3月份

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  • anakin0819

    第201楼2011/08/24

    楼主：
    能不能帮助维修。谢谢！

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  • anakin0819

    第202楼2011/08/24

    楼主 能不能帮助维修

    sunnysky(sunnysky) 发表:首先检查一下电镜的真空是否正常，因为能谱的真空是靠电镜来抽的，然后检查一下测温度的传感器是否正常。

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