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第267楼2011/12/21
最近接手JEOL 6510A sem 带EDS
做SEM 照片时 无论怎么调 都没法得到很清晰的图像,不管是高倍还是低倍
总感觉扫出来的图像 就像是带马赛克似的。
做EDS分析的时候 CPS数载3000左右,
T2 取图 dead time 5%左右,
T3分析 dead time 10% 左右
最后分析结果的时候 每种元素的counts数都非常的低,一般counts最高的那根线数不到100,偶尔超过100,也到不了200。
我查看以前的分析数据,一般最高的counts线都超过1800。
怎么调也不行,问以前用过的人,因为我们买的时间也并不是很长,2年的时间吧。他也不清楚怎么回事。
各位老大,有没有什么建议。要不然只能repair了。