Probe Current调至7~8,数值越大分辨率越差,信噪比越好。至于图像是否清楚要看各种条件,也有可能光阑脏了,具体需要到现场判断。
gzmnmtl(gzmnmtl) 发表:很难得的帖子啊,顶起来!
使用SEM不是太久,最近用的JSM7600F也是感觉有些问题,请楼主给些建议:
1、感觉图像总是跳不了很清楚,一年前拍ZnO样品(不是标样),能拍到150000都感觉还不错,边界也很清楚,现在再将样品喷金后看的时候,在50000以上总感觉边缘朦胧。另外使用标样的时候也无法调到边界清晰,尤其上边界总有个影子似的,反复调象散焦距什么的还是不行,不知是什么原因。镜筒被污染了???
2、调整束流Probe Current有没有什么原则,何时调大何时调小?
迷惑中,期待楼主的回复!