sunnysky
第367楼2012/07/13
]原文由 jvhewu(jvhewu) 发表:JEOL官网上说,7001F SEM有in-lens detector,但今天问工程师说,只有一个SEI detector,就是一只延伸到外面的那个,请问SEI是不是只有一个?而那个in-lens detector指的是BEI dtetector?
7100F和7001F都没有in-lens detector,低配版SEI探头是在物镜下方,其高配版TTL型的SEI探头其实是在物镜上方,也可以搭载低配版的SEI探头, BEI探头也不是in-lens的。只有在7500F和7600F才搭载in-lensSEI和BEI探头,SEI探头有两个。7800F可以搭载5个左右各种探头,其成像各有不同,有时间的话我可以贴个比较图。
jvhewu
第368楼2012/07/13
非常感谢您的回复。再请教几个问题。
1. 关于7001F:
左键按住拖动,右键选以某处位中心以移动位置,ZFC点亮后轨迹球动,以及用小面板上的+x、-x、+y、-y动有何区别?是不是都是移动stage?是不是只有点亮e-beam图标后,用鼠标拖动,才是电子束偏折定位?50000倍以上时候,用什么方式较好?
2. 关于6700F:
开内舱(比如样品台掉进去),要往内舱充气才能打开,怎样控制充气速度?(据说速度快了会损坏舱内的探测器,比如eds探头)?是不是要降低钢瓶出气阀的气压大小?多少为宜?还有其它安全的方法吗?
3. 插入样品杆时掉真空时充气速度快吗,会损坏EDS和SEI detector吗?
4. 有没有6700F上附带的JEOL自产的EDS的操作说明书?
sunnysky
第369楼2012/07/17
1.关于7001F:
默认是50k一下,无论”左键按住拖动,右键选以某处位中心以移动位置,轨迹球动,以及用小面板“都是控制stage在移动,50k以上“ 左键按住拖动和右键选以某处位中心以移动位置”是通过“image shift”即电子束微移实现的,而“轨迹球动以及用小面板”仍是控制stage移动。“image shift”功能在高倍下可以很好的控制视野。
2. 关于6700F:
充气速度控制在机器内部进气管处,有一调节阀,通过调整它控制充气速度,出厂时已经调节好,不会对EDS探头造成损坏,充气过快有可能造成EDS探头膜破。钢瓶出口压力是固定的0.5MPa,不要调整。否则真空系统会出现动作异常。
插入送样杆时漏气,如果漏气量不大一般不会对EDS探头有影响。
EDS说明书一般随机都有,我手上目前没有。