求教楼主，仪器型号，JSM-6460
故障,抽真空过程中Pre evac——evac，然后就一直停留在evac状态，抽不成ready。
之前有两三次提示真空系统错误，ALC（airlock chamber）灯闪烁

谢谢楼主

需要查一下是否有真空泄露，如果没有的话需要调一下电路板上的ready的切换点。如果是带ALC的话，查一下ALC的阀门是否漏气。

求教楼主，这个ALC究竟是个什么东西，在电镜的真空系统中其什么作用呢！

ALC就是airlock chamber，是装在样品室上的一种过渡室，样品先放在这个室内抽真空，到一定程度后，过渡室与样品室之间的阀门打开，就可将样品送到样品室内，取样的过程正相反。这样做的好处是从放进样品到可以做样的时间很短。这种过渡室一般装在较大的样品室上，对6460是选装件。

请教楼主，用的是JSM-6510,最初用的时候束斑是30,图像就很清楚了，但是后来慢慢的要变大才能拍清楚，现在都要50多了，怎么回事呢？

这位用户，请您查看您的原帖，我在上面回复过了呢，您有没有按照我们说的做呢，您的原帖距今也有好几个月了吧？有没有和工程师联系过呢？今年三月份，北方应该是没装过JSM-6510。

您好，这样子，我们没有标样的，与工程师联系也没说出来个所以然，这个现象有时候不严重，是不是和换了灯丝后的调整有关呢？

我是深圳这边的。

既然是不是每次都出现，那就可能和 GUN ALIGMENT 和 OL APERTURE ALIGMENT有关

您可以这样，先调至0号光阑，然后点击在30KV,SS30下，做 AUTO GUN CONTROL，这样会大致获得一个较好的 GUN ALIGMENT，然后请手动 GUN ALIGMENT确认一下： 先 在SS30下 做GUN TILT 的 X和Y，使图像最亮，然后分别做SS40,50的 GUN SHIFT 的 X和Y，使图像最亮即可

然后 是物镜光阑 回到 常用的 光阑号，再放大，打开WOBBLER 调节物镜光阑，使图像 从里到外 晃动，而没有上下左右的晃动，这样子，图像就好了。手动 GUN ALIGMENT 只是确认，因为自动有时不是特别的完美，需要手动的弥补。

好的，谢谢您，我试试！

我的场发射6700F最近出问题了，晚上停电了，重启仪器后，看起来一切正常，电流可以到10ua，但是观察样品不行，噪声相当大，只能隐约看见样品，无法拍照片，最低倍数25倍也是如此，做电子枪对中也没有效果，也做了强flash，都无济于事。请问该如何操作啊？