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  • maxin2009

    第444楼2013/01/19

    您说的都对,我就是这么做的,另外,我都是0号光阑下 合轴,然后1,2万倍聚焦消像散,看看图像是否有象散,然后再加入光阑,这样子

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:6510居然还有电子枪倾斜和平移调整,偶表示非常羡慕。
    411楼用最大亮度调电子枪倾斜,可以理解;同样用最大亮度调电子枪平移是什么道理?如果光路并不是良好对中的,最大亮度出现的时候光束应该恰恰不是沿物镜光轴下来的。
    我觉得应该是选择聚光镜激发差异较大的两个束斑,在中等偏高的倍数下反复切换,看看视场是不是有明显移动,然后用电子枪平移使两个视场相同。这个过程要结合物镜光阑调节反复做几次。扫描电镜是不是没有单独调电子束倾斜的功能?在物镜光阑对中良好的情况下,默认电子束总是平行光轴的?
    我没实际做过,上面是我假想的。

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  • maxin2009

    第445楼2013/01/20

    把物镜光阑拔出来 理论上就不存在 光路对中不好的这个问题了

    maxin2009(maxin2009) 发表:您说的都对,我就是这么做的,另外,我都是0号光阑下 合轴,然后1,2万倍聚焦消像散,看看图像是否有象散,然后再加入光阑,这样子

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  • zml88cat

    第446楼2013/01/20

    调BEI之前的图是小倍数的,现在这个是500倍另外一个样的,这个图就是样品的图像,现在的问题是束斑直径挺大 了,可是噪音信号同样很大,感觉不太对,这样,我再去拍个图贴上,您再帮我看看。

    maxin2009(maxin2009) 发表:啊?!那为什么调之前贴的图是有图像的呢,之前贴的那张图可和现在这个完全不一样耶,我们是按照那张图来思考问题的耶,这样吧,您在南方北方?这明显是电子束没能打在样品上,可能性有三:电子束是歪的,靠GUN ALIGMENT来校正,物镜光阑对中没做好,物镜光阑歪的太厉害了,把电子束整个挡住了,您说调BEI探头之前就这样子,那BEI歪的不是很厉害,您确定您的BEI探头位置是对的么?就按我之前说的那样子。这样吧,把物镜光阑调至0号,看看有没有图像,如果马上就有图像了,那么就是物镜光阑歪的厉害,把光阑设回原来的号,去调光阑就是了。如果0号光阑也没图像,那就得做GUN ALIGMENT了。如果调至0号光阑后,图像一片雪白,就点ACB

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  • zml88cat

    第447楼2013/01/20

    调BEI之前的图是小倍数的,现在这个是500倍另外一个样的,这个图就是样品的图像,现在的问题是束斑直径挺大 了,可是噪音信号同样很大,感觉不太对,这样,我再去拍个图贴上,您再帮我看看。

    maxin2009(maxin2009) 发表:啊?!那为什么调之前贴的图是有图像的呢,之前贴的那张图可和现在这个完全不一样耶,我们是按照那张图来思考问题的耶,这样吧,您在南方北方?这明显是电子束没能打在样品上,可能性有三:电子束是歪的,靠GUN ALIGMENT来校正,物镜光阑对中没做好,物镜光阑歪的太厉害了,把电子束整个挡住了,您说调BEI探头之前就这样子,那BEI歪的不是很厉害,您确定您的BEI探头位置是对的么?就按我之前说的那样子。这样吧,把物镜光阑调至0号,看看有没有图像,如果马上就有图像了,那么就是物镜光阑歪的厉害,把光阑设回原来的号,去调光阑就是了。如果0号光阑也没图像,那就得做GUN ALIGMENT了。如果调至0号光阑后,图像一片雪白,就点ACB

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  • xiangs

    第448楼2013/01/21

    求助:仪器6610LV,问题:

    1)正常关机,隔日重新开机,关机时的参数变更,其妙莫名!比如,SS从30/40变到99,有时加速电压也变到30KV;

    2)有时重新开机,图象窗口是白屏,无论调什么参数都不没用,一般只能重启计算机,或同时重启电镜主机和计算机才能恢复正常;

    3)有点类似楼上看到“BEI探头的轮廓”那位的问题。我们的情况没那么糟,BEI探头偏得不多。但奇怪的是,如果重启计算机,那个探头轮廓能大致归到正中间去。在那个“轮廓”回到中间后再重新调节参数,再回到最低倍数下,“探头轮廓“对中很不错。但问题是,一旦关了机,异日再重新开机,同样的问题又会发生。不知道是探头偏了的原因,还是别的地方的问题。

    4)接着楼上”探头轮廓问题“那位问一下:BEI探头(好象是个片吧?)是以什么方式安装上去的,是插入式的,还是用螺丝固定的?如果是插入式,若它的位置偏了,要归位,应该向左右,上下,还是前后用力呢?

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  • zml88cat

    第450楼2013/01/21







    以上是不同束斑直径下的Scan2的图像,
    以下是不同束斑直径下的Scan3的图形,噪点相差很大,







    这是什么情况呢,刚开始束斑直径30就很清楚,噪点很少很少。

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  • maxin2009

    第451楼2013/01/22

    总的来说,是图像信号噪声比 变弱了,噪音强度不变,但是图像强度变弱,信噪比就弱。图像信号强度变弱的常见原因是电子束变弱了,电子束变弱了的可能性有三:第一,灯丝不是充分加热,检查LC值及LC滑块是否滑到了橘色条的左边沿处。第二,灯丝合轴不好,请重新合轴。第三光路不直,经常影响光路的是物镜光阑,请做物镜光阑对中。一般第二,第三一起做,请参看411楼

    zml88cat(zml88cat) 发表:





    以上是不同束斑直径下的Scan2的图像,以下是不同束斑直径下的Scan3的图形,噪点相差很大,







    这是什么情况呢,刚开始束斑直径30就很清楚,噪点很少很少。

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  • sunnysky

    第452楼2013/01/23

    1、2、3有可能都是软件的问题,需要重装软件试一下 4,背散射探头是用两个弹簧挂在物镜下方的,中间有个小突起,正好可以放在物镜中间的孔中,放不好的话很容易歪。

    xiangs(xiangs) 发表:求助:仪器6610LV,问题:

    1)正常关机,隔日重新开机,关机时的参数变更,其妙莫名!比如,SS从30/40变到99,有时加速电压也变到30KV;

    2)有时重新开机,图象窗口是白屏,无论调什么参数都不没用,一般只能重启计算机,或同时重启电镜主机和计算机才能恢复正常;

    3)有点类似楼上看到“BEI探头的轮廓”那位的问题。我们的情况没那么糟,BEI探头偏得不多。但奇怪的是,如果重启计算机,那个探头轮廓能大致归到正中间去。在那个“轮廓”回到中间后再重新调节参数,再回到最低倍数下,“探头轮廓“对中很不错。但问题是,一旦关了机,异日再重新开机,同样的问题又会发生。不知道是探头偏了的原因,还是别的地方的问题。

    4)接着楼上”探头轮廓问题“那位问一下:BEI探头(好象是个片吧?)是以什么方式安装上去的,是插入式的,还是用螺丝固定的?如果是插入式,若它的位置偏了,要归位,应该向左右,上下,还是前后用力呢?

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  • sunnysky

    第453楼2013/01/23

    451楼说的很好,照着做就好了,zml88cat的问题基本上是调整的问题,是否是换完灯丝后出现的呢?也有可能有人将物镜光阑换成了小孔

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  • 韩胜华

    第454楼2013/01/28

    你们好,我对扫描电镜很敢兴趣,只是我们公司现在用的还没有,我想看看电镜对钢材检测有哪些好处,能不能给讲解下,然后讲解下,相的分析

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