管路有漏气的地方吧，捡漏一下吧

真空管路有沒有密封!

可能是在内部有漏气,我们的micromass QTOF 前一阵子也有漏气,检查后发现是在一个线路插口处,内部的密封陶瓷圈有细小裂纹.如果你也真空度达不到,但又不很低,可能就是这个原因.