chemist_zm
第11楼2011/07/08
粗真空问题不大,说明前级泵没有问题,你在高级界面下看看分子涡轮泵的功率能达到多少,如果20min还到不了80%以上可能是分子泵或者真空规有问题。也可以用铝箔纸把离子源里面的口封上抽真空看看,如果还抽不起来,规坏了可能性大。
Charles911
第12楼2011/07/08
这个是监测真空度的那个真空规(也叫离子规)出现故障了,更换配件或者看看您的仪器里面有没有可去掉监控的选项,如果有就去掉吧