刚写了一个长贴子，系统出了问题没有传上去。只好简单重新写一遍。
我们一般用单色器做刻蚀，为避免边界效应，选择刻蚀区域是分析区域的十倍。如果用双阳极做，刻蚀区域就太大了，刻蚀速率就太慢了。
选择较低的离子束能量，可以使荷电减小，但是也会降低刻蚀速率。达到同样的深度需要更长的刻蚀时间，这样会不会使荷电累积？
刻蚀之后采谱之前是要间隔一定时间，我已经放置了一小时，荷电仍然没有达到稳定。
我们的电子枪不能调电压，但是可以调发射电流。我再试试加大电流。
谢谢大家！
我想我们的样品台接地可能有问题，我再去查查。
可能导电差的样品不适合做长时间的深度刻蚀？
