雾非雾
第11楼2010/11/22
我们用的是岛津,它在进样口内侧。如果是隔垫漏气仪器会报警。再说把压盖拧紧一点一般就不漏了。
aluan0922
第12楼2010/11/22
谢谢!
第13楼2010/11/22
还有一个问题啊,隔垫吹扫能量只在进样后那几分钟才有流量的吗?还是说一直开着的?
第14楼2010/11/22
我们换了个隔垫,隔垫吹扫的流速显示只有0.4,设定值是3.不知怎么回事啊,而且基线都是毛刺。希望各位给个建议啊
qqqid
第15楼2010/11/22
出个馊主意,我没做过的。关闭载气,取下隔垫,用洗耳球从隔垫吹扫出口吹入空气,也就是反吹,观察气路是否正常。注意:隔垫吹扫出口到进样口的气路中有过滤器,不是完全通畅的。
chengjingbao
第16楼2010/11/22
若是过滤器处堵呢?
沐浴晨光
第17楼2010/11/22
显示的正常吗?重新测测就好啊
阿宝
第18楼2010/11/22
楼主找个 皂膜流量计,接到 purge 出口处测量一下实际的流量,如果确实1ml的话,堵的可能性比较大
家有田
第19楼2010/11/22
隔垫吹扫也是EPC控制的,单纯的反吹看不出来什么效果,要堵的话也是EPC那个地方堵了,楼主你可以拆开后盖检查下一下控制的那个EPC!