应该是真空度不够有关系的，只要真空度没达到一定程度就会有CO2的，还有是机械泵油、电子束照射都会产生C的，但酒精清洗应该是不会有的，因为酒精的挥发性很好，我们曾经做过试验，用酒精、水清洗样品测得的C含量是一样的。

比较认同这个老师的看法！

个人认为，电镜配的附件（能谱，波谱，EBSD等）的气密封作用的O圈的润滑物质就是一个很大的污染源。

准确的说，是涂的润滑脂

样品表面炭污染的主要来源是有机炭，一般在空气中就含有各种有机成分，虽然含量不高但吸附性能很强，并吸附后一般是不可能脱附的，因此，会残留在样品表面。此外，就算在真空系统中，不使用扩散泵，但前级真空的机械泵，润滑油，清洗用的无水酒精均可在真空系统中残留的。

认同，个人认为，只要样品在大气中传递，很快就会有吸附，我看样品表面C的比例经常到50%，郁闷……无空气接触太……