第21楼2005/12/13
我说的是同档次的机器啊,象TOPCON的TUM-170EHN,170mm*75mm的载物台。测量精度都可以达到(1.3+L/200)um。价格和STM6也差不多,大概550W日圆吧!
第22楼2005/12/13
什么啊 ?