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  • popo

    第11楼2011/02/03

    P在光谱上如果用213的谱线不需要吹扫就完全可以检测。
    在光谱上，P可以做到几十个ppb没有问题
    对于半导体行业，如果能用ICP测定P的，坚决不用MS。

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  • chenchen1

    第12楼2011/02/07

    楼上的你说的是在溶液中还 是固体中几十个ppb啊？含有Si的时候本底也很高啊，几十ppb 峰都不明显

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  • 光哥

    第13楼2011/02/14

    应助工程师

    猜测一下，LZ的样品可是三氯氢硅？？
    实在处理不了，就等国标参考呗。快出来了。或者你直接问问新光/中硅那些人的，他们应该更清楚。

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  • wshfly

    第14楼2011/02/14

    我们做三氯氢硅中的P，之前因为SiF的影响，P的值一直不好控制，现在掌握了规律，P的值趋于稳定

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