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  • fengyonghe

    第12楼2011/01/16

    那个“大机盒”是真空室，抽气时瞬间打开造成负压使舱门锁紧，应该是阀门有异常响声。

    unht(unht) 发表:并不是泵的原因，声音是从枪下面的那个大机盒了发出来的，我门怀疑是减震台在撑起时有什么灰尘落里面去了，像是被卡了一下发出的声音。
    等放假了拆下来看看....

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  • unht

    第13楼2011/01/17

    但是那种声音不是常出现的...偶然性...

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  • sophiachang

    第14楼2011/01/18

    是样品室里的声音么？
    这个声音之后系统提示抽真空完毕？还是继续在抽真空？

    unht(unht) 发表:SEM在放进样品后抽真空的时候，

    会突然发出

    “咯吱”的声音，

    对这样的现象我们怀疑是减震台的问题。

    可能是掉有灰尘到减震台里面去了

    不知道大家对此有何见解

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  • 大雄

    第15楼2011/01/18

    检查一下样品室的橡皮圈处，适当涂些真空脂

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  • unht

    第16楼2011/01/20

    声音出现在刚开始抽真空的时候

    sophiachang(sophiachang) 发表:是样品室里的声音么？
    这个声音之后系统提示抽真空完毕？还是继续在抽真空？

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  • cmh618

    第17楼2011/02/25

    我们机子抽真空时也会有声音 应该是泵正常的声音吧

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  • unht

    第18楼2011/03/01

    我估计是进了灰尘...

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