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  • 第11楼2005/12/24

    那我先看看,有不会的请教您.对了,如果做错的话,有没有危险.我导师要我在不损坏仪器的基础上自己摸索,我现在怕啊!万一出点问题,我就吃不了兜着走.
    PS:做的时候有什么需要注意的没有?还有您的email是多少?如果我有问题就直接给您发email.当然您能告诉我您办公室电话更好.寿老师对软件操作也不熟悉,只能问您了,

    chengxps 发表:在“EX05 Ion Gun using T164 Digital Electronics”章节里面，介绍的很详细。唯一要提醒你一点是：gas roughing和gas inlet阀门和照片上的排列不同，它们实际是上下排列（gas inlet 在下面）。

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  • 第12楼2005/12/26

    chengb@mail.buct.edu.cn办公室暂时没有电话，试验楼在装修，电话都改成暗线，可能得新申请。
    你好好看看步骤，一般不会有问题。注意，在开argon leakage valve以前，一定先开离子泵，还有我上次提醒你的那个阀门。

    feixiong5134 发表: 那我先看看,有不会的请教您.对了,如果做错的话,有没有危险.我导师要我在不损坏仪器的基础上自己摸索,我现在怕啊!万一出点问题,我就吃不了兜着走.
    PS:做的时候有什么需要注意的没有?还有您的email是多少?如果我有问题就直接给您发email.当然您能告诉我您办公室电话更好.寿老师对软件操作也不熟悉,只能问您了,

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  • 第13楼2005/12/26

    按您说的,已经打开!好的,谢谢啊!我仔细看看,有不会的就给您发email了,不是吧!过圣诞节睡觉了?没有陪孩子出去啊!! 我还以为您陪孩子和夫人去了!

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  • 第14楼2005/12/26

    argon leakage valve这个阀门是不是就是V4阀?

    chengxps 发表:[你好好看看步骤，一般不会有问题。注意，在开argon leakage valve以前，一定先开离子泵，还有我上次提醒你的那个阀门。

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  • 第15楼2005/12/27

    对，就是V4

    feixiong5134 发表:argon leakage valve这个阀门是不是就是V4阀?

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  • 第16楼2005/12/28

    ？？？
    注意，在开argon leakage valve以前，一定先开离子泵，还有我上次提醒你的那个阀门。[/quote]
    通气氩刻时一般离子泵是关着的，是不是楼上的打错了？不过一般离子泵都是有保护功能的，估计即使你不管，暴漏量大时它也会自动ERROR的，呵呵。

    chengxps 发表:chengb@mail.buct.edu.cn办公室暂时没有电话，试验楼在装修，电话都改成暗线，可能得新申请。
    你好好看看步骤，一般不会有问题。注意，在开argon leakage valve以前，一定先开离子泵，还有我上次提醒你的那个阀门。

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  • 第17楼2005/12/28

    ]
    \通气氩刻时一般离子泵是关着的，是不是楼上的打错了？不过一般离子泵都是有保护功能的，估计即使你不管，暴漏量大时它也会自动ERROR的，呵呵。
    [/quote]

    他说的对着呢!工程师和说上说的跟CHENGXPS一样.

    peem 发表:你好好看看步骤，一般不会有问题。注意，在开argon leakage valve以前，一定先开离子泵，还有我上次提醒你的那个阀门。

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  • 第18楼2005/12/28

    他说的对着呢!工程师和说上说的跟CHENGXPS一样.[/quote]

    feixiong5134 发表:]
    \通气氩刻时一般离子泵是关着的，是不是楼上的打错了？不过一般离子泵都是有保护功能的，估计即使你不管，暴漏量大时它也会自动ERROR的，呵呵。

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  • 第19楼2005/12/28

    [quote]原文由 peem 发表:呵呵，看来是俺孤陋寡闻了，那你们刻蚀时压力多少啊？电流呢？


    我们所谓的泵其实不是泵,是阀门.
    那你们刻蚀时压力多少啊？电流呢？您说什么地方的?我还没有做过,正在研究,呵呵.

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  • 第20楼2005/12/30

    不同型号的Ar枪，不同的泵速，有无差抽，不同的刻蚀，所选的条件都会不同的

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