补充：
有以上想法，是因为线扫描结果看上去呈现锯齿状，实在不好看，仅仅从曲线绘制来看，觉得数据点分散是原因，平滑处理不大合适。
不知道以上看法是否正确？

EDS定量的准确性很大程度上取决于收集信号的强度，你所谓的锯齿是因为每个点上没有足够的强度，或没有停留足够的时间而已。我们曾经对EDS和WDS进行过对比，发现如果用EDS测量足够的时间，例如每一个点1分钟以上，其测量结果可以类似于WDS。但一个前提是SEM要足够稳定，而一般的W灯丝和冷场基本不太合适，热场是一个比较好的选择。

呵呵，谢谢指点。
我是在作热障涂层界面观察时发现这么个问题，描述如下：
界面是Al2O3层，是金属层内Al扩散到表面后被氧化形成的，其厚度大概几个微米，然后这个Al2O3层的另一侧还有ZrO2~(7-8wt%)Y2O3作的面层，现在想通过作线扫描，作这个Al2O3层左右以及其本身这个断面的元素分布变化，比如Al、Ni、Co等，期望看到比较明显的浓度起伏变化，尤其是Al在Al2O3生成层附近应该有贫化现象。
但是目前实验结果不能令人满意，电镜试验员是个新手，认为分辨率不够是主要原因，所以只能达到这个效果，请教大家如何达到我的目的？
附图片，请指点。

据说辉光光谱可以做到，不过辉光光谱分析深度最大只有200微米，这种情况下，需要将顶层腐蚀到相当程度，才有可能探测到需要的界面。