spot size 的数值表示什么意思？我也不知道，只听说过这与电镜的电子束大小有关，越小灵敏度越大，但图象越暗，反之异然。

Spot Size的数值在不同厂家的机子上显示有所不同，我们用的电镜Spot Size是1～16的。