这是维修工程师换检测器时拍的。

我也遇到过类似的问题，但是我觉得泄露不是很严重的时候，可以适当的大幅度改变一下仪器间的环境温度，目的是使得类似密封圈的东西在温度变化的情况下能恢复自身的物理热胀或者冷缩的性质，导致恢复其密封性能。楼主可以试一下。

真的非常感谢，我看见了，呵呵，这个O型圈够大的哦，下次领导换检测器时我再仔细看一下，根据您说的，感觉很简单。

lidonglei(lidonglei) 发表:看看图片

可以考虑，那温度变化是怎么变化呢，温度调高还是调低呢？

我今天打开这个箱盖的时候也遇到这个问题了。打开之后在规定时间内无法达到真空度的要求，系统认为是真空有泄漏。重新启动抽真空两次以后就正常了。
建议作如下检查：
1）箱盖下面的O圈是不是有脏东西，用酒精仔细清洗一下即可；
2）氩气压力是不是有，否则Slide valve可能关闭不严；
3）打开箱盖后因为真空被破坏，可能第一次抽真空无法满足penning trip。系统自动关闭后，接着抽真空就可以了。

我们是因为O形圈翘起来了，所以真空泄漏了，我当时接着抽了几次都还是有这个问题

这个图片很清晰！！顶！！