扫描电镜一般都自带减震装置,可以处理大部分的振动,但是这种减震装置都是有个本征频率的问题,好的减震设备的本征频率都很低,在2Hz-5Hz之间,当出现像楼主这样的设备现场低频测量不合格就是会在低频出现共振,不但没有减少振动反而会增强振动,这是生产商在安装设备时最头痛的问题。
现在有一种主动减震的设备可以很好的解决这个问题,主要原理是通过一个电子振动调节器来替换原来的阻尼部件,这就完全解决了低频本征频率的问题。他的安装位置在扫描电镜的底部,完全阻断来自地面的振源。
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