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第16楼2006/07/06
分子泵之所以叫分子泵是由原因的,它利用了物理学的碰撞原理。
1,分子撞击在第一级的转子的叶片上,由于叶片有一定的倾斜角,这样大部分撞击在转子叶片上的分子就往第一级的定子走。同时由于转子高速转动,1万到5万转/分钟,这样就使分子以更高的速度向第一级定子飞去。
2,定子上的叶片也有一定的倾斜角,这样就使分子往下一个转子跑。即使有分子往上一级转子跑,也会被上一级转子上的叶片弹回来。
3,如此反复,分子就被赶出去了。
综上所述,分子泵得工作在低真空1E-2 torr(所以不可在大气压下就开分子泵),有很高的转速,1万到5万转/分钟(所以在开腔时,一定要在分子泵完全停止时才可以往真空腔里充气)。分子本的转速,级数的多少,转子的直径和厚度决定了分子泵抽气的速度。
由于靠撞击来工作,所以对同一分子泵来说,要使其有相同的抽速,就得使用不同的转速。