电镜防震减振、防震可以联系北京华卓精密科技有限公司
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hpyao 发表:刚刚发现这个网站,欣喜ing!有一些疑问,敬请DX们赐教啊!
我们的应用是芯片的检查,对分辨率要求不是很好,10nm足够了,但是对扫描速度和电流稳定性要求很高
1) 我们需要对一块芯片进行全芯片的摄像,需要连续拍摄几万张高分辩率SEM图像的矩阵,要在一个合理的时间内完成,每张的扫描时间最好在10s以内。
2) 几万张照片需要几十个甚至上百个小时的连续拍摄,必须要全自动,因此焦距必须很稳定,也就是电流要很稳定(也许一天停下来调2次焦距还是可以的)
什么样的SEM能够最好地满足我们的需求呢?我们进行了很多调研,得到了一些信息,请DX们帮助判断是否正确:
1)
我们的场地是确定的,在六楼,震动、电磁都是问题,但是我们可以进行专门的装修和购买减震台
1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的,有什么专业的单位可以测?联系方法?价格几何?
2) 用什么防震台比较好?对于2万倍以下的放大,震动问题是否很难解决?
从电流稳定性方面考虑,FE-SEM是最佳选择,但是我们不需要很高分辨率,环境也达不到要求,买FE-SEM有些浪费;
W-SEM电流稳定性很差,寿命甚至不能满足一次连续摄像,速度又慢,不能考虑
LaB6-SEM对于我们的应用,是不是最好的选择?速度和FE-SEM不知道相差多少?
以上问题确实很棘手,哪位DX对SEM方面比较了解,敬请和我联系:haiping.yao@gmail.com,139 1634 4697
Thanks in advance!
以来就问这么多,惭愧...不过真的是很急...