这是个好问题，我根据自己的经验回答一下，希望能对楼主有帮助。
首先说说各自的优缺点
多道同时式光谱仪的优点，有以下几个方面
我们知道X射线荧光光谱仪的分析精度依赖于特征谱线的总计数，要想达到某个分析精度，总计数要达到某个值才能保证。多道同时式分析仪，因为各个通道同时工作，这样测试时间就可以设定为最难满足精度的元素通道所需的时间。由于只需考虑最难满足精度的元素的测定时间，总测定时间就是这个时间，一般几十秒到2、3百秒。根据这个时间，多道同时式分析仪一般只需要选用小功率X光管(一般几百瓦)即可满足对总计熟虑的要求。
优点1，小功率X光管和高压电源及冷却系统的成本低和寿命长，故障率低，维护量小。
我们知道高精度测角仪是扫描式X射线荧光光谱仪的核心部件，对角度精度要求很高，由于要保证在所有测量过程中高精度的运动，对可靠性要求很高，技术难度和维护成本也高。使用测角仪，每次要测量某个元素的特征X射线，都要准确运动到对应的角度，即使再好的角度重复性，也不能保证没有误差，总会或多或少带来计数率误差。而多道同时式分析仪不需要测角仪，而代之以晶体角度固定的多个道，没有运动部件，维护量和可靠性容易保证。根据我的经验，在其他影响技术率稳定性的条件(恒温、流气密度稳定、高压电源稳定性等)保证的比较好的情况下，计数率稳定性非常接近理论统计涨落，这是多道同时式分析仪一个突出的优点。
优点2，分光系统无运动部件，计数率精度可以达到很高水平。
由于多道同时工作，对时间的压力不大，特征谱线计数率可以不用那么高，对荧光信号处理的速度要求也就不那么高，一般保证通过率几万cps就够用了。这也是国内目前还只有多道同时式分析仪的原因。
优点3，对信号处理电路要求较低。
说完优点，再说缺点
1，由于采用多个通道，每个通道都需要独立的分光器,衍射晶体,探测器,放大器和多道脉冲处理器，加起来成本也还是比较高。
2，通道数量总是要受到结构的限制，不可能很多，这也是多道同时式分析仪一般用在行业应用的原因——分析元素的数量有限。RoHS应用虽然分析的元素数量有限，但基体元素很多很杂，因为在定量过程中必须考虑基体元素的影响，原则上需要测试基体元素，所以也不太实用。但对水泥、玻璃、陶瓷、钢铁等行业，还是比较好的选择。皮实，精度也相当好。

多固定道的的优缺点和单通道扫描式仪器的优缺点是互相印证的，
1，分析元素的数量不受限制，除了最轻的几个元素外几乎可以作全元素分析。这是优点。由于元素是分时测量的，测量总时间是每个元素的测试时间之和，为了保证总测试时间处于可接受的范围，必要每个元素要很短时间测完并达到计数率要求。这样大功率X光管和高速荧光信号处理就是必须的。大功率X光管和高压电源的使用，是技术能力的体现，当然也是问题多发点所在。维护成本很高。
2，高精度测角仪是单通道扫描式仪器的技术核心之一，对于复杂的应用几乎是必须的。对于特定的应用有些浪费。

我感觉多道的速度远远快于单道扫描道啊！拿15个元素同时测定，多道测定时，时间应该在100S内完成！单道扫描道的话，测定第一个元素应该在50S左右，然后进行角度微调再测定下一个元素，依次内推！
但是单道扫描道大致在10万（扫描道），多道的一个元素通道最少3万，这样元素越多成本越大！在企业，快速周期单位，最好用多道加扫描道仪器，如果是研究单位用扫描道好点！

成本大主要体现在哪些方面？

多道比单道要快那么一点，特别是对分析复杂样品来说。

应助达人

非常感谢，学习啦。