看来楼主对ICP点火失败的经验还是比较丰富的，估计这么古董的仪器设备也锻炼你的技术与能力了。

应助达人

正如mei1106所说，这台老爷机的确锻炼我不少，硬盘损坏那次是最麻烦的，领导都重新买了一个二手的工控机来替代，但是最好解决的办法是用新硬盘替代，将工作站copy过去，然后完成跳线就可以了。差不多换了有一年的时间了，目前还是正常的。

这里都是高手 啊

应助达人

过奖了，我只是被这台仪器设备折腾出来的，其他的高手还是很多的。

若该设备拥有，Free running type 自激式激发源，那么就不会出现点不着火或者熄火的现象！

遇到过N次点不着火的情况：1、气源不好；2、光纤探头问题；3、RF功率发生器坏了（已经换过两次了）；4、漏气，气体压力不足。
解决办法：1、针对气源，加装了氩气净化机，使用频率大时用液氩，频率小工作时间短时用普氩都可以；2、擦拭探头；3、不用说了，直接联系工程师更换；4、检查各连接部件和气瓶压力开关。
个人的一些经验，希望对大家有用。

应助达人

tcangchao总结的很精辟，基本上可以从这些方面去排查，比较难以想到的可能是光纤探头脏了的问题。

应助达人

你们那居然只有一个供应商~不好不好

热电老IRIS性能还是不错的，只是要更换电脑比较麻烦。

虽然费了了很多周折却得到了宝贵的检验了，以后遇到此类故障，首先换气，没说的！