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多谢楼主原创分享，收益良多。

液氩也能出问题，到底什么情况。

是啊，我们现在也是遇到了同样的问题，反复和供气商说不要拿不合格的气过来，还是拿过来不合格的，现在我们的仪器也点不起火，作为使用者开始我还以为是RF发生器坏了，害我虚惊一场

起源问题，多么不起眼的问题。细节问题要全面，有事就是很简单的事。考虑全面，先从简单的逐一开始排查。

液氩也会有问题，从来没碰到过，这个比较坑

不错，学习了。

液态气体不会出现纯度不够的问题。除非是装错了罐子，氩罐里灌了液氮，但是这两种液态气体密度差的很多，推一推罐子应该能感觉出来。