听相关工程师介绍，用于微小区域界面元素分析，平均原子序数分辨率能达到0.01哦，比如CuO、Cu2O，都可以通过电子探针清晰的在电子探针上面看到其在基材上面的各自的分布情况。这种微区域的氧化物金属的分布，好像电镜做不了的。

电子探针用的是波谱，比能谱要精确一些，但是收集时间也相应的要长很多