可以先按照正常的顺序关机,然后最好用物理冷却的办法使扩散泵冷却下来以免发生污染.就是用湿毛巾直接敷在扩散泵上冷却这样可以减少危害.

可以单独给泵配个UPS!这样既能解决问题又能解决成本问题.可以问问物理所的他们就是这样,.

应该没有大问题，不过最好还是买个UPS，我的那个宝贝疙瘩有一个，断电的话，UPS可以支持几个小时，电气柜里还有一个UPS，也可以几个小时，最后离子泵还可以延长一段时间，足够我正常stop了

不知道怎样才能发表个人求助贴，我急！
今天SEM突然间显示样品室内到了Y极限位置，进行了初始化之后没有效果，然后就一直显示这条信息，任何操作都无效了，不知道该怎么办？是哪里出现了问题，不知哪位大侠能指点一二！谢谢！

电镜什么的都要配不间断电源的

UPS会在断电的瞬间开始工作，从而使断电的影响降低到最低限度。
如果这次侥幸仪器没有出现问题，你也不要窃喜，还是要配备UPS。
要知道一旦分子泵出问题就会花掉很多钱，关键这样会耽误工作进度，而且也是工作人员的失职。

有SEM，竟然没有UPS，也太夸张了吧。

SEM配置动力电源应该单独使用,为了保险起见,还要配置相应功率的UPS

偶而一次没关系的,在扩散泵与主真空室之间那个气动阀门会自动关闭,但经常突然掉电,会影响仪器整个稳定性,出现故障

偶而一次没关系的,在扩散泵与主真空室之间那个气动阀门会自动关闭,但经常突然掉电,会影响仪器整个稳定性,出现故障