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  • 金水楼台先得月

    第11楼2011/09/08

    你的样品,为什么需要做微区分析呢,不可以采取熔片的方法吗。

    cwyksls(cwyksls) 发表:我想确认产品某一点、微区(如1mm2)的元素含量,不知如何做,请BY赐教。谢谢!

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  • 金水楼台先得月

    第12楼2011/09/08

    电子扫描显微镜应该不行!

    cwyksls(cwyksls) 发表:但是国内的最小是6mm(帕纳科)。
    电子扫描显微镜是不是能做到?

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  • loaferfdu

    第14楼2011/09/13

    应助达人

    你说的是堀场的机器吧,这个就是使用光纤全反射,光纤孔径逐渐缩小,最后射出端1.2mm
    X射线在电场中也不转,磁场中也不转,要想使他聚焦,除了这个光纤聚焦全反射,好像目前没有别的技术了。

    kevinw(kevinw) 发表:对不住刚才少写了一个不,我是想说,具体采用什么技术做到1.2mm,我还不是很清楚,如果有知道的朋友,请与大家分享。多谢!

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  • loaferfdu

    第15楼2011/09/13

    应助达人

    1mm区域内的Sn、Zr好办,S、Na、Al、Si就有点麻烦,应为这几个元素属于轻元素,荧光产额低,发光弱,而且特征能量小,穿透能力也弱,测试难度比较大。不过尚可一试。
    提两条建议:
    1. 使用带真空的EDXRF设备,或者直接WDXRF分析一下看看,WDXRF的功率大,分辨率高,可以提供更好的检出下限。
    2. 尝试使用电镜上的能谱,SEM-EDS,分析区域可以小到um量级,不过这个只能定性,定量的结果不太靠谱,特别容易受到二氧化碳的沾污。

    cwyksls(cwyksls) 发表:我也不算专业,只是略知一二。通常构成缺陷的元素有锡、锆、硫、钠、铝、硅等,含量范围(由于缺陷占测试面的大小不定)不好确定。

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  • cwyksls

    第16楼2011/09/14

    Deepest gratitude goes to all of u.

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  • cheng_hc0032

    第17楼2011/09/15

    应该是Horiba公司的XGT,最小可以做到0.01mm的光斑,测量元素可以从Na开始,可以考虑下.

    loaferfdu(loaferfdu) 发表:你说的是堀场的机器吧,这个就是使用光纤全反射,光纤孔径逐渐缩小,最后射出端1.2mm
    X射线在电场中也不转,磁场中也不转,要想使他聚焦,除了这个光纤聚焦全反射,好像目前没有别的技术了。

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  • 金水楼台先得月

    第18楼2011/09/15

    最小可以做到0.01mm的光斑?是理论值吧。

    cheng_hc0032(cheng_hc0032) 发表:应该是Horiba公司的XGT,最小可以做到0.01mm的光斑,测量元素可以从Na开始,可以考虑下.

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  • hww168

    第19楼2011/09/16

    平板玻璃缺陷分析,首先要收集到一定数量的样片,在偏光显微镜下找到缺陷的位置,然后用扫描电镜或电子探针进行成分分析,很快就能判断缺陷是在那道工序产生的,我们单位就是这样做的。

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