xingzhedfh
第14楼2016/09/12
谢谢上面精彩的探讨,让我对扫描电镜有了更深入的认识,这个感谢是发自肺腑的哟。我有个困惑不知能否解答一下,现在我们研究所用的扫描电镜都是场发射电镜,相对较新,比如FEI 的430, 450 以及蔡司的supra 55, 35. 我们使用时加速电压通常是20 kV, 这让我觉得20kV才应该是最佳值,但是今天我试了一下5kV和10kV, 发现我可以照清楚我样品上的纳米压痕了,以前我怎么调工作距离,像散,光阑等都不行,这让我一直以为是自己样品导电性差或者压痕太浅,边界不明锐造成的。当然这个现象还需要我重复,我想问的是,我们以前用的20kV都用错了吗?