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  • xlbmcr

    第35楼2006/06/18

    他们的激发原理\使用领域完全不同,XPS偏重于价态分析,表面深度在nm级,有关资料到处都可以看到.

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  • xlbmcr

    第36楼2006/06/18

    "横向空间分辨率基本上取决于电子束束斑大小",这种讲法错误,请注意.

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  • easuz

    第37楼2006/08/02

    都是高手啊，问题还没有结束，希望能继续讨论下去。

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  • jfgood

    第38楼2006/08/02

    XPS是可以测价态得，EDS好像不可以吧：）

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  • 小石头

    第39楼2006/08/06

    XPS应该可以在个别元素上达到100个ppm的

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  • 小石头

    第40楼2006/08/06

    EDS测试深度1个微米以上，属于元素分析，主要对重元素灵敏，B到U，H，He, Li是测不出的，XPS比EDS浅，纳米级别，通常和TOF-SIMS联合测试

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  • 小石头

    第41楼2006/08/06

    另外AES（俄歇电子能谱，Auger)对轻元素灵敏，TOF-SIMS 的英文 time of flight-secondary ion mass spectrometer

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  • jking007

    第42楼2006/08/08

    我也想要得到指点！邮箱：jking007@163.com,先谢谢！

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