一般 做衍射的时候 大家都用SEAD 光的平行性比较好 可以得到比较好的衍射斑点 但是 在区域很小的情况下 selected area apperture就显得太大 在套中所选区域的同时 也套选了很多周围的材料 做衍射分析就不准确了 所以 在这种情况下 可以采用nano diffrcation 所以说 nano diffraction 本质上还是diffraction 但是 没有了选区光阑 所选区域 就要通过将束斑调小来实现的 在这种情况下 电子束通常就丧失了平行性 得到的是汇聚成一定角度的会聚束 但是 也不像CEED那样 会聚程度那么高 所以 得到的是相应的 呈一定盘状的衍射斑

Nano-diffraction是指微区衍身，据我所知是使TEM STEM的方式来做的，其它方式是否可以做就不知道了。