电子束定点，但会以这一点为轴心，做一帧摆动, 这个需要扫描发生器特定程序。使用的信号是SE,还是BSE不太记得了，总之电子束入射角度不同，信号是变化的，因此扫描摆动一帧后，形成通道花样。

电子通道花样ECP过去是选购附件。当前一般扫描电镜实现ECP从硬件上基本足够了，最主要的问题是可以标定花样，所以软件相对比硬件要复杂。

ECP标定比较困难，但是ECCI怎么获得，如果只想看图像的话

要获得电子通道花样和电子通道衬度，样品表面要求有较高的平整度，电子通道衬度可通过背散射电子探头获得，电子通道花样可由电镜的ECP模式获得，具体工作参数，我也没做过不好说，可查看一下说明书是否有写。

应助达人

这张图片下面的英文说明，写的是BSE，是用BSE信号吗
电子通道花样，以前没有留意过，孤陋寡闻了

anddy(anddy) 发表:再来两幅SEM拍的位错的照片

见过一款电镜做过，忘了在哪了
让老衲我好好回忆一下

我最近也想用SEM看看位错，好处是范围可以看得比较大，对大范围的密度分布看得比较清楚，不好的是WD比较短，可以tilt的角度较小。

不过具体操作还是不很清楚，说明书上也语焉不详，找到这个帖子顶上来看看有没有对这个比较熟悉的牛人

先谢谢了

请教，图中，哪部分是位错，哪部分是位错胞？
位错是多余的原子排列面，这个尺度，扫描电镜的分辨率够吗？

通道相应的最关键在前处理。