像是有漏气，拆开重新装一遍，同时检查各个密封圈。

问题已经解决了

清洗完离子漏斗，安装时没有安装到位，导致一级真空和二级、三级、四级真空之间漏气太严重了，真空规装在四级真空里面，因此，会有此现象。

学习了。。。。。。。
刚开机的时候最好堵一段时间，真空上升会比较快。