补充几点：

0) XPS的物理原理是光电效应；EDS的物理原理可称为电光效应，广义上说，二者是逆过
程！

1）XPS的入射源是X射线，其对样品的破坏性较低;EDS的入射源是电子，对样品有一定的破
坏性。

2）XPS的出射束是电子，电子的平均自由成较短，仅仅几个纳米，是一种典型的表面分析手
段；EDS的出射束是特征X射线，X射线的平均自由程相对较长，可达上百纳米，因而可称之
为一种体分析手段。

3）XPS一般不能做微区成分分析，是几个毫米范围内的平均效应，但能提供元素化学态方面
的的信息；EDS可做微区成分分析，可以在XY平面内作二维的元素分布mapping,配合溅射等
手段，还可提供depth profile。

4) XPS可以分析除氢和氦以外的元素；因为受特征X射线探测器的影响，EDS仅可以探测Z大
于5的元素。

xps是x射线光电子能谱
EDS是能量色散普
XRF是荧光光谱

edx是XRF的一种，eds是edxrf