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  • tangtang

    第11楼2011/12/18

    可能流量控制器有问题了。

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  • zws1206

    第12楼2011/12/19

    你的气体选择正确了吗？在方法设置里面

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  • shenyangxiabo

    第13楼2011/12/22

    有可能是检测器堵了，或者是隔垫吹扫的气路堵了，如果都不是，那就麻烦了，EPC可能坏了，以上三种情况我都遇见过。

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  • 家有田

    第14楼2011/12/24

    你的EPC没有工作吧，按正常程序开机试试！

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  • wangjie4789

    第15楼2011/12/25

    我们有一次就是压力一直达不到，报警，后来咨询工程师，一一排除，最后发现是载气被改动了。

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  • juegen

    第16楼2011/12/26

    分流堵了 ，肯定的！

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  • 七宝

    第17楼2011/12/26

    可能是气路漏气了呢

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  • lr2008_ongi

    第18楼2011/12/27

    我也出现压力不稳,结果是分流伐堵了,拆下来清洗后就好了.

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