楼主用的是什么仪器、什么柱子？没说太清楚，感觉好像是安的TCD。

如果依托你现有的TCD色谱的话，我认为需要采用HE和AR做载气分两次做不同的组分，使用分子筛柱就可以。
但是同楼上的想法一样，TCD未必能测得出来这个量级的数值。
如果柱子选择或者条件不合适的话，即便能检测到，出峰也未必OK。

一般分析高纯氩中微量的H2、O2、N2、CH4、CO（及CO2）时，是采用高纯氩专用的检测器HFAD，它是采用氩作为放电气体和载气，所以可以检测高纯氩气里的所有组分（国标）。
只用一根13X或5A分子筛柱子就可以分析H2、O2、N2、CH4、CO了，如果要分析CO2就需要再增加一根柱子。

2楼版友说的DID可以分析所有气体成分，可以用于高纯氢、氧、氮、氩的分析，但是O2和Ar的分离有些困难，不论使用分子筛、HAYESEP还是PORAPARK柱子，基本都会是合峰。所以如果要测氩中的氧，DID就不太适用了。

希望有参考价值。

因要测定空分装置分馏出高纯氩质量，我是分别测定的，CH4,CO使用PQ柱在FID上检测，H2,N2用一台带DID检测器的色谱，O2用电化学法的微量氧仪。其中带DID检测器的色谱是国产的带阀切换，使用5个9的氦气做载气并要经过仪器附带的净化器净化。效果还可以。

不好意思，俺的习惯问题，俺一般把氩放电检测器也归做DID类检测器，因为其原理基本一样，只是载气不同。。

浓度太低，确实不好做。如果在跟换检测器，则流程长，费用多。
我想你好像不用知道具体杂质的含量，只要知道气体够纯就可以，那看下，能不能检测出 氩气 的含量。