测流量可以用皂膜流量计啊。。

（1）MFC的读数是气体的流速。不同气体压力下，相同流速，从出口出来的气体的摩尔数是不是不一样的。也就是说，在混合气体的时候，要保持混气各组分比例不变，不但要保持流速比固定，气体的压力也要固定，否则结果会发生变化。这点我还没有想清楚。
（2）是不是不同种类的气体对应不同的MFC。就是说用于测N2的MFC（0-5scc/min），不能用于CO2，即便量程相同。
（3）除了气体要除颗粒和干燥外，还有没有别的注意事项。
（4）哪个牌子的MFC比较好，如果买国产的，有没有什么牌子不错的。

（1）理论上，MFC虽然是质量流量控制器，但是其读数是用标准情况即0度、一个大气压下的气体体积流量表示的，因此即使前端压力变化，所产生的流量也是按标准状态下的体积流量表示的，可以说，MFC和压力没有关系。
（2）不同种类的气体必须用相应的MFC，因为每个MFC都是按照某一种气体进行标定的。
（3）气体只要纯净就行，一般空气瓶的杂质很多，要除杂质和水，其他气体中的水比较多。
（4）肯定是进口的好，我现在用的是瑞士的，叫leister。但是很贵，我现在自己做了一个，有啥问题可以加我QQ：106818938

多谢您的解答。受教了！

MKS品牌的不错

这个现在也不一定是进口的就一定好啊，我们实验室有好多这种流量控制器，其中就有一个国产的比较不错。苏州爱拓利生产的，用下来控制精度，稳定度及反应速度都比较不错，比进口的完全不差，而且附带的上位机软件比较实用。

谢谢大家的分享。

谢谢。