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  • lich_dc

    第21楼2012/05/20

    日立和日本电子上面的冷荆是用于吸附污染物，而且效率不高，并不能去除污染物。你可以参考置顶帖关于电镜污染物处理问题，基本上可以解决你的烦恼。

    wbslandy(wbslandy) 发表: ===========>>>>前几天我们尝试着改变一些条件，目前有所改善。
    我们在日立的S-5200 Super-SEM 上样品台带冷阱的情况下用0.5KV测试，黑斑明显弱化；用另外一台也是带冷阱的日本电子的JSM7500 SEM确认液氮冷阱的效果,黑斑也不明显了。
    另外我们动用FEI公司的450S Dual-Beam FIB-SEM,尝试改变束流由50pA---25pA---13pA---8pA逐渐减小， 发现黑斑也逐渐减弱， 到8pA时基本看不到黑斑了。

    在解决此问题的时候，我听一位香港的做SEM资深人士说，SEM腔体内的有机污染物最好用等离子清洗机进行清理， 各位，有人听说过等离子Plasma清洗腔体的吗？ 目前我还没见过哪个供应商用此手段，只看到他们用吸尘器清理chamber内的污染物。
    感谢大家的热情参与。

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  • xx2882xx

    第22楼2012/05/21

    长知识了，鼓掌。

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  • yuezai

    第23楼2012/12/13

    我也觉得是工作距离的问题。另外问一下，兄弟是在新科上班还是在希捷上班呀？

    小M(mitchell_dyzy) 发表:工作距离太小了，拉远一点就好了

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  • 小M

    第24楼2012/12/16

    应助达人

    最初的判断是工作距离过小，但是从后来的描述来看，不像是。

    公司的问题您是问楼主吗？如果是问我呢，我不是。

    yuezai(yuezai) 发表:我也觉得是工作距离的问题。另外问一下，兄弟是在新科上班还是在希捷上班呀？

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  • 驰奔

    第25楼2012/12/28

    冯老师把大同给吃透了吗？

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:张大同的书67页：改变加速电压，必然引起光轴偏离，特别在低电压下，光轴偏离更严重。因此，每次改变加速电压，必须仔细合轴，使束流最大，图像最亮。操作时最大限度地消像散，这是绝对必要的。

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  • fengyonghe

    第26楼2012/12/28

    发这种对LZ没用的帖子建议斑竹删掉它。

    驰奔(srd2009) 发表:冯老师把大同给吃透了吗？

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