roce
第31楼2006/08/03
在low-k材料时kv数太高就易发生变黑现象降低电压.电流与增加喷金时间皆可改善
lyl_lin
第32楼2006/08/07
同意!
dbmbobo
第33楼2006/08/24
扩散油帮的炭污染
hangk2006
第34楼2006/09/23
做一下表面覆膜,]导电性不好
共工
第35楼2006/10/07
建议参考每周一问新三的帖子
l_feier
第36楼2007/06/05
样品不导电和电压太高。针对这两方面进行改善应该会有所改善如没改善建议聚焦时先在你所要观测的图像的附近聚焦聚焦好后移过去拍你想要的位置图片
zhaoxj0820
第37楼2007/07/15
是电子束长时间轰击一个位置造成的碳污染,可以使用低电压,同时配合工作距离的调整,有条件的可以配合使用冷指,减小碳污染速度。