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  • roce

    第31楼2006/08/03

    在low-k材料时kv数太高就易发生变黑现象
    降低电压.电流与增加喷金时间皆可改善

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  • lyl_lin

    第32楼2006/08/07

    同意!

    braveyong 发表:主要是由于C脏污引起的, 来源于扩散泵油

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  • dbmbobo

    第33楼2006/08/24

    扩散油帮的炭污染

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  • hangk2006

    第34楼2006/09/23

    做一下表面覆膜,]
    导电性不好

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  • 共工

    第35楼2006/10/07

    建议参考每周一问新三的帖子

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  • l_feier

    第36楼2007/06/05

    样品不导电和电压太高。
    针对这两方面进行改善应该会有所改善
    如没改善建议聚焦时先在你所要观测的图像的附近聚焦
    聚焦好后移过去拍你想要的位置图片

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  • zhaoxj0820

    第37楼2007/07/15

    是电子束长时间轰击一个位置造成的碳污染,可以使用低电压,同时配合工作距离的调整,有条件的可以配合使用冷指,减小碳污染速度。

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