祥子
第12楼2012/08/11
原来是anping老师以前发过的一个图。http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111208/3700883/
第13楼2012/08/11
看下面两个图中的狭缝样子
第14楼2012/08/11
第15楼2012/08/11
第16楼2012/08/11
下图的单缝为什么不反过来呢
第17楼2012/08/11
再看看这个专利: 这个是跟上面那些都不一样的,反着的。
第19楼2012/08/11
下面这个专利,可能能解释楼主的一些疑问。
第20楼2012/08/11
普析通用的一个专利
夕阳
第21楼2012/08/11
看来祥子老师不愧为紫外专家啊!资料真多。我所见过的刀口形的狭缝均为可调式的,而固定式的狭缝均为刻槽型的。对于刀口形的狭缝,我的理解是由于该类型狭缝为可调式的,为了加工和牢靠考虑,故制造狭缝的材料选材较厚,为了不使狭缝的断层面因过厚产生杂散光,故而只能将狭缝铣成刀口状。但是究竟刀口的那一面为入射光的一面,还真的没注意过,这在今后要好好观察一下了!同时佩服楼主肯于钻研的思路。这种刀口式可调狭缝见下图所示:
第22楼2012/08/11
下面这个专利通过微机械加工硅片,可以实现1um~100um的狭缝宽度。