喷金后C、O、F这些超氢元素的X-射线会被严重吸收，为了使电子束能穿过金层要用较高的加速电压，可能会超过允许使用的高压， 再加上样品内部的积电，其实无法测量。

C O F是可以用能谱仪检测的，但是因为样品不导电需要表面喷碳。这样又会对样品中C元素无法准确测量。如果样品中C元素含量较高的话，至少有10%。则可以在定量分析设置中，选择差值法，并选择C元素。
这样能谱会检测O，F元素，之后用100%减去O，F含量就得出C含量。
此法需要C含量较高，如果含量过低则误差很大。

H元素无法用能谱检测。

差值法只能设置氧元素，也就是认定样品的所有元素全部由各种纯氧化物组成的，而且还要设置化学价（或系统默认）。这样才能忽略氧的测量，只测量被氧化的元素，而后再配齐形成各种氧化物所需要的氧。这种方法适用于分析矿物。如果你选择了碳，系统就认为碳以外的所有元素都是由碳化物组成的，如OC、HC、FC．．．．．．　等，还要设置化合价（或系统默认）并按照与上面相同的模式只测量被碳化的元素，而后再配齐形成各种碳化物所需要的碳。所以说差值法只适用于矿物分析。

您在定量设置下看到的应该是如下的设置说明，我们通常选择所有元素，也即样品中有什么元素就请能谱自动标定什么元素。

另外也有一些情况我们可以自己设置。比如您之前提到的可以选择 按化学计量法确定元素，此种下面的已化合元素 通常选择 O，因为对于地质样品中，所有元素都是与O化合，那就干脆全部选择与O化合，此时O元素不是检测出的，而是通过化学配比计算出的，同时，系统可以给出氧化物的含量。
第一种我们可以自己设置的情况，就是我们可以选择 按差值法确定的元素。但此时让人容易误解的是，他差值的元素 依然显示的是 已化合的元素：但是我们仍然可以选择我们希望差值的元素，比如C，此时系统会将C元素作为100-其他元素后的计算结果作为其的成分含量。如果选用差值法，不需要确定各项元素的化合价。

但如冯老师讲，如果选用化合计量法确认元素的话，是需要确认各种元素的化合价的。

同意你说的

COF 均可测试，但是准确度很低。建议用间接法测试，如加入内标物 然后磨成粉，压片 然后根据F和内标元素占比测试 内标元素是已知的 所以通过换算可以计算出来COF含量

测出来的精确度都不高，不准

一般都是可以定性，但是定量的话是出一个大概的范围，不准确

可以定性，定量就不准了