正常情况下先是机械泵启动，几分钟后达到一定低真空，分子涡轮泵才能启动。

你把手指搭在左泵上，感受左泵“脉搏”是否颤抖(即工作)？

（1）如果左边没有工作，那你需要联系PE工程师

（2）如果机械泵在工作，我怀疑仪器存在漏气，可能是

（2.1）透镜腔盖板没有合拢严实

（2.2）截取锥后的隔离阀（Slide Gate，从透镜腔可以看到隔离阀背面）正好出故障了，接口部分有轻微泄露

这两种情况都会导致：一边是左泵在不断抽真空，另一边是大气沿着这些泄露点进入透镜腔。腔内真空迟迟降不下来，因此分子涡轮泵就没启动。

最后，你留意左泵泵油的颜色？可参考此文

http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20120204/3845440/

今天工程师把左边的那块控制真空的电路板寄过来了，我换上去后还是不行。看来还不是电路板问题，在找找其他原因了。。

应助达人

个人也认为是有漏气的地方，所以真空抽不上去。先查漏。

你这个肯定是 电路板坏了 跟我的一摸一样 我的也是 等不良 后来我们坚持了电路板 你用测的测一下电路板的V量 是不是达到标准 总共有4个地方 我的是一个不符合 我就换了整个电路板

你好 你换的是哪块电路板啊

以前，曾碰到过类似情况。
机械泵抽得很卖力，分子涡轮泵就是不出力。
后来检查是一根电线隔在透镜真空腔和盖板垫圈之间。

花了一个多月了，换了个真空规，仪器正常了

好像service模式里面可以把真空规关闭?

应助达人

是可以关掉，但是关掉了仪器就不能读真空，也不会进到Ready状态，你还是不能点火分析样品。

这个情况是真空规坏了，或者真空规受污染需要清洗了，导致读数不准，不能正常启动。请楼主多了接真空规的知识！