驰奔
第22楼2013/05/06
最近看过一个日立S-5200 UHR FE-SEM资料,现在可以理解楼主的抱怨。虽然不是一个型号,但物理意义相同。
这款电镜除了SE探测器是标配以外,其他探测器都是选配,由此可以估计楼主单位应该没有选配单独Bse 探测器是肯定了,这不能怪厂商,应该是当初预算不足。
下表中的 se mode 和 Signal Control Mode使用同一个Se detector, 其实信号控制模式就是通过调节探头偏压实现的, 绝大多数扫描电镜都可实现,包括酷塞目,但这不是卖点。SE探测器的控制模式,对样品探测器几何方位要求较高,尤其配合EDS使用,两者都满足的最佳条件很难,大多数人很少用。
下面图像:SE是标准模式 SE(30)是信号控制模式,Bse是用低能背散射探测器,MIX是SE+Bse信号混合模式。哪种模式最好,还是由最终测试需求和操作难易决定。
我们注意到,Bse模式图像很大程度上消除了形貌反差(相比SE模式图像),是由于探测器光轴中心对称。 现在很多扫描电镜样品室配置的四分割半导体背散射探测器,信号相++++模式,图像效果类似,也是消除了形貌反差,增强成分反差,低加速电压并不能表现精细的形貌特征。
因此再说一下YAG背散射电子探测器,实质和罗宾逊背散射探测器同理,属于广角闪烁体加光电倍增管,广角闪烁体形状并非中心对称,有良好的形貌反差和更高的原子序数分辨率,但空间分辨率会低。这中探测器最贵。
二次电子探测器相对来说也不便宜,至少看起来和低能背散射电子探测器差不多,后者就多了一个破盘子。