10S确实比较短。不知道能否看到，我来看看高手建议

靶材确实是Au。好多人说Pt颗粒可能更小，如果以后真的影响观察了，我再买一个Pt靶。

气溶胶较难拍，建议加速电压2kV,甚至可以加点背散射信号！这个本身是纳米颗粒无疑，第二张照片上金颗粒明显存在，它们堆积在原有的溶胶颗粒上，仔细分辨还是能看出原有颗粒的大小。对于这种样品一定不能镀膜，不管是pt,还是Ir，只能用减速。

看来您的喷金机是老机器啦，我现在用的是Ir的靶材，颗粒极小。

这两张图都是真实颗粒只是第二张更清楚些。喷金后容易看到金颗粒不是喷金过程中形成的金颗粒。喷金后的样品在观察之前样品表面是一层由原子态金形成的膜，样品进入扫描电镜在观察过程中受到高速电子的轰击后，原子态的金膜发生再结晶生成颗粒状的金。你所使用的高压是1.0KV不足以使金膜再结晶化。如果换用比金熔点更高的金属进行喷镀，所获得的金属膜在高压电子束轰击下会更稳定，也就不容易出现颗粒状了。

yangyouran(yangyouran) 发表: 以下图像为溶胶凝胶法制备的SiO2薄膜，第一张未喷金，为了降低电子束对样品的伤害，选择了低电压，小工作距离。但是感觉不够清晰。


因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，所得图片如下：



相较于不喷金的图片，喷金后多出了很多小颗粒，能否说明这些小颗粒是金？还是说喷金后图像更清晰，小颗粒是膜本身的颗粒呢？

请问，这是真空镀膜还是溅射镀膜？

yangyouran(yangyouran) 发表: 以下图像为溶胶凝胶法制备的SiO2薄膜，第一张未喷金，为了降低电子束对样品的伤害，选择了低电压，小工作距离。但是感觉不够清晰。


因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，所得图片如下：



相较于不喷金的图片，喷金后多出了很多小颗粒，能否说明这些小颗粒是金？还是说喷金后图像更清晰，小颗粒是膜本身的颗粒呢？

请问，这是真空镀膜还是溅射镀膜？[/quote]

溅射仪镀的金膜。

溅射仪镀的金膜。[/quote]
感谢回答！

应该是金颗粒，在干净玻璃片上喷金，用AFM扫出来得金颗粒有几到十个纳米大