楼主可以考虑爱尔兰AGC公司的100或600系列气相色谱仪。

电子气行业，如高纯硅烷、高纯砷烷中ppb级杂质分析，一般都选用搭配DID检测器的气相色谱分析（DID检测器由AGC公司自主研发和生产，进入中国市场已经十几年时间，拥有高灵敏度和可靠的稳定性）

楼主要检测什么级别的硅烷？杂质都有哪些？含量大概多少？以下是摘抄其他客户的分析要求，如有补充可以给我留言，再详细交流。

l 样品气体：高纯硅烷

l 分析杂质：H2, O2/Ar, N2, CH4, CO, CO2

l 杂质等级：ppb-ppm

l 分析要求：用于检测高纯硅烷气；要求能够检测0.01 ppm以下的气体杂质。

l 符合标准：N6.0 以上行业标准

l 色谱仪的核心部件----DID检测器，基于爱尔兰AGC公司的自主研发，具有较高灵敏度、较好的稳定性；

l 色谱仪的气路系统----中心切割、反吹系统技术，可以一次完成多种复杂成分的分析检测；

l 色谱仪的软件系统----专门为AGC色谱配套研发的Trend Vision, 完成测试报告、自动分析/存储数据，自动绘制谱图、反控气相色谱、调节保留时间以及各种反吹、切割动作，可同时控制4台分析仪器。

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