很详细 赞一下 ^_^
2. 在调objective astigmatism之前 先确定 beam不圆 不是因为condensor引起的 -----回答下楼主后面的问题
LittlePanda(v2653428) 发表:Rochigram调节跟mag没有关系,你可以增加camera length来放大它方便调节。TF20一般用C2=70um。 在做STEM alignment的时候,要退出衍射模式(press diffraction button on the control pad),在最高的SA 倍数下,改变C2 lens得到最小的束斑。
电镜的调节可以这样做:
1. 在STEM 下取一张相先,把amorphous area 挪到图片中间,然后把beam park 在image 中间( use the beam park position tool in TIA, double click the beam park position and input (0,0) nm), 调rochigram, 尤其是condenser stigmatism.
2. 退出衍射模式,象在TEM模式下那样调alignment, 包括 center C2 apt, beam tilt pp, rotation center, 如果beam不圆,可以用objective stigmitor 去调圆。然后改变intensity得到最小的probe.
3. 进入衍射模式,改变z height来focus the sample.然后可以细调rochigram 或图像。
可以先用cross-grating sample 试,如果能看到atomic plane说明电镜调节没问题。然后在放你得样品,如果看不到,也许你的样品的质量不是特别好。