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  • xdd1987

    第11楼2012/12/07

    在TEM模式下电子束不圆直接调物镜像散,是因为聚光镜像散已用ronchigram调好了?另外在TEM模式下调probe,就是把光聚到一点?

    LittlePanda(v2653428) 发表:Rochigram调节跟mag没有关系,你可以增加camera length来放大它方便调节。TF20一般用C2=70um。 在做STEM alignment的时候,要退出衍射模式(press diffraction button on the control pad),在最高的SA 倍数下,改变C2 lens得到最小的束斑。

    电镜的调节可以这样做:

    1. 在STEM 下取一张相先,把amorphous area 挪到图片中间,然后把beam park 在image 中间( use the beam park position tool in TIA, double click the beam park position and input (0,0) nm), 调rochigram, 尤其是condenser stigmatism.

    2. 退出衍射模式,象在TEM模式下那样调alignment, 包括 center C2 apt, beam tilt pp, rotation center, 如果beam不圆,可以用objective stigmitor 去调圆。然后改变intensity得到最小的probe.

    3. 进入衍射模式,改变z height来focus the sample.然后可以细调rochigram 或图像。

    可以先用cross-grating sample 试,如果能看到atomic plane说明电镜调节没问题。然后在放你得样品,如果看不到,也许你的样品的质量不是特别好。

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  • xdd1987

    第12楼2012/12/07

    Gun tilt、Gun shift和beam shift不调吗?

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  • LittlePanda

    第13楼2012/12/09

    Gun tilt , gun shift, 如果你之前在TEM模式下调好了,就不用调了,一般这两个比较稳定,不用老调。

    beam shift可以随时调,没影响。

    xdd1987(xdd1987) 发表:Gun tilt、Gun shift和beam shift不调吗?

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  • LittlePanda

    第14楼2012/12/09

    准确的说,应该是在STEM的 image mode下。 是的,电子束不圆可以是由两种像散造成的。

    xdd1987(xdd1987) 发表:在TEM模式下电子束不圆直接调物镜像散,是因为聚光镜像散已用ronchigram调好了?另外在TEM模式下调probe,就是把光聚到一点?

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  • 大布口袋

    第15楼2012/12/09

    你们那里没有进行过培训?

    xdd1987(xdd1987) 发表:Gun Tilt不调吗?Rotation Center调节是抬小屏看样品上某一特征区域是不是面向你上下跳跃?还是有其他判断标准?

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  • 大布口袋

    第16楼2012/12/09

    分辨率是有极限的 这个跟probe有关

    spot size6的时候 probe size有点大 所以 才不建议用spot size 6

    xdd1987(xdd1987) 发表:是不是想看更高的分别率就需要更大的spot size,但这样束流岂不是很低?

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  • 大布口袋

    第17楼2012/12/09

    很详细 赞一下 ^_^

    2. 在调objective astigmatism之前 先确定 beam不圆 不是因为condensor引起的 -----回答下楼主后面的问题

    LittlePanda(v2653428) 发表:Rochigram调节跟mag没有关系,你可以增加camera length来放大它方便调节。TF20一般用C2=70um。 在做STEM alignment的时候,要退出衍射模式(press diffraction button on the control pad),在最高的SA 倍数下,改变C2 lens得到最小的束斑。

    电镜的调节可以这样做:

    1. 在STEM 下取一张相先,把amorphous area 挪到图片中间,然后把beam park 在image 中间( use the beam park position tool in TIA, double click the beam park position and input (0,0) nm), 调rochigram, 尤其是condenser stigmatism.

    2. 退出衍射模式,象在TEM模式下那样调alignment, 包括 center C2 apt, beam tilt pp, rotation center, 如果beam不圆,可以用objective stigmitor 去调圆。然后改变intensity得到最小的probe.

    3. 进入衍射模式,改变z height来focus the sample.然后可以细调rochigram 或图像。

    可以先用cross-grating sample 试,如果能看到atomic plane说明电镜调节没问题。然后在放你得样品,如果看不到,也许你的样品的质量不是特别好。

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  • xdd1987

    第18楼2012/12/19

    感谢各位热心解答!

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  • danjing007

    第19楼2012/12/21

    楼主,调出STEM点阵像了吗?很想学习一下啊!

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