PE的还有氮气接头，用来吹扫光室，一般用来做190nm以下的时候才用得到氮气，而且氮气贵，估计不少单位都不接氮气吧，我们这就没接过，貌似做As189nm跟193nm的结果也没什么区别……

液氩作为等离子体气体。冷却水很重要哦。有一回我忘开了。差点把我矩管烧了