我觉得内部可能还是会带电的。入射电子被散射是在整个作用区里都发生的，这个散射过程很难保证处处都是收支平衡，保持电中性，因此在作用区里应该广泛存在净电荷。但是这个过程会非常复杂，入射电子的能量在持续改变，发生的散射作用的类型和几率也随之变化，而且产生的净电荷未必完全不流动，所以很难说电荷究竟是怎么分布的。甚至可能某些位置带相反的电荷。镀膜之后，表面电荷被消除，如果内部电荷积累很多，出现较高电势差，即便不击穿，也会由于隧穿效应是内部电荷得到一定的释放，但是否完全消失就不清楚了。至于对微分析的影响，金属膜肯定影响比较大，碳膜的作用类似污染层。

谢谢回答。我觉得内部荷电会和漏电达成平衡，最终的内部负电位取决于高压和样品电阻。最后特别想说的是这时的样品不能获得真实地背散射图像。对吗？

我觉得背散射电子和荷电没什么关系呀。倒是二次电子受荷电影响比较大。

对背散射图像应该影响不大，因为在背散射区域基本上是入射电子数等于背散射电子数加上继续向深度方向散射的电子数，所以在背散射区域以外可能会有荷电，形成负电场。这个负电场也有使入射电子背散射出试样的可能性，数量不是很多，但对背散射像有一些影响，可能平时并未影响图像的清晰度。假如样品是由多相组织组成的，各个相的漏电能力不同，则负电场也是不均匀的，这就会在背散射图像上叠加一层不均匀的灰度像。我很夸张地模拟成下面的两张图，左边是背散射电子像，右边叠加了荷电的影响，只是太夸张了。大家怎么看？