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  • gegeyc88

    第11楼2013/03/18

    这个SEM测量又没有什么标准？我在网上看了下，好像测量这块有个什么国标。

    小M(mitchell_dyzy) 发表:几层加起来一共多厚？

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  • 小M

    第12楼2013/03/18

    应助达人

    如果我没有记错的话，关于SEM的只有两个国标，一个是测量标准的，另一个是关于能谱的

    gegeyc88(v2675311) 发表:这个SEM测量又没有什么标准？我在网上看了下，好像测量这块有个什么国标。

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  • 小M

    第13楼2013/03/18

    应助达人

    光镜的景深没有SEM好

    gegeyc88(v2675311) 发表:用光学显微镜试过，效果不是很好！

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  • 小M

    第14楼2013/03/18

    应助达人

    普通的确实切不了，只能考虑更加精细的，如FIB

    gegeyc88(v2675311) 发表:大概150-200微米左右

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  • sept

    第15楼2013/03/19

    如果你了解每层镀层的元素及或含量，那可以使用牛津的LayerProbe软件，不需要破坏样品。放置于sem中就像打能谱一样，点击任一点，即可获得该处的镀层厚度。
    该原理主要是，电子束打到样品上，激发的x射线通常深入样品约几个um（与kV及Z有关）。如此，若多层膜总厚度约几个um，则每层的元素及厚度信息皆可被能谱检测到。这样无需破坏样品，即可得到多层膜的厚度信息。

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  • boxer

    第16楼2013/07/29

    我们可以做，QQ1654040719

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  • sight

    第17楼2013/07/31

    选择FIB 估计最适合的~~

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  • shine806

    第18楼2013/10/10

    楼主问题解决了没有

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  • gegeyc88

    第19楼2013/10/11

    解决了，司特尔帮做的样，效果还不错！！！

    shine806(shine806) 发表:楼主问题解决了没有

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